液體質(zhì)量流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。
液體質(zhì)量流量控制器一般分為以下幾種類型：
1.容積式流量計(jì)，又稱定排量流量計(jì)。它利用機(jī)械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。
2.浮子式流量計(jì)，又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是變面積式流量計(jì)的一種，在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3.差壓式流量計(jì)，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計(jì)算流量的儀表。
4.渦街流量計(jì)，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀表。
5.渦輪流量計(jì)，是速度式流量計(jì)中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。
6.超聲流量計(jì)，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。
7.電磁流量計(jì)，電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計(jì)有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計(jì)不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。
8.熱式流量計(jì)，熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。
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陳工